초음파 센서

일반적인 초음파 센서는, 바닥이 있는 통 형상 케이스의 내저면에 압전 소자를 접합, 그 위에 미리 성형된 스펀지 및 봉지재를 배치하는 구조를 갖는다. 미리 성형된 스펀지는 기계로 위치 정밀도 좋게 삽입하는 것이 어렵고, 수작업으로 비용이 드는 공정이 된다. 또한 바닥이 있는 통 형상 케이스의 내저면의 대부분에 있어서, 미리 성형된 스펀지가 접촉하고 있기 때문에, 내저면의 제진 효과에 한계가 있어, 잔향 시간의 단축이 곤란하다. 초음파의 송수신 시에 진폭이 최대가 되는 개소에 있어서, 진동을 방해하기 어려운 다공질 탄성체(3a)를 배치하고, 상기 내저면으로부터 통 형상부에 진동을 전하는 개소에 있어서, 상기 다공질 탄성체(3a)보다 고밀도이고 제진 효과가 있는 탄성체(5)를 밀착시켜, 잔향 시간의 단축, 초음파의 신호 강도 저하의 억제를 가능하게 했다. 상기 다공질 탄성체(3a)는, 도포기를 이용하여 위치 정밀도의 안정적인 충전이 가능해져, 보다 품질이 안정되고, 제조 비용을 억제한 초음파 센서도 제공이 가능해진다. There is provided an ultrasonic sensor including: a closed-bottom tubular case including a bottom portion and a tubular portion; and a piezoelectric element joined to an inner bottom surface of the closed-bottom tubular case. A porous elastic body is in close contact with the inner bottom surface to include a portion at which an amplitude is maximum in the inner bottom surface when transmitting or receiving an ultrasonic wave in the inner bottom surface. An elastic body having a density higher than a density of the porous elastic body is in close contact to an opening side of the closed-bottom tubular case to include a portion at which vibration is transmitted from the inner bottom surface to the tubular portion of the closed-bottom tubular case.