산화베릴륨 페데스탈

본 발명은, 상부 및 하부를 가지며, 95 중량% 이상의 산화베릴륨 및 임의적으로 불소/불화물 이온을 함유하는 산화베릴륨 조성물을 포함하는 베이스 플레이트에 관한 것이다. 상기 베이스 플레이트는 600℃ 이상의 온도에서 133kPa 이상의 클램핑 압력 및 800℃에서 1 x 105 ohm-m 초과의 벌크 저항률(bulk resistivity)을 나타낸다. A base plate containing a having a top and a bottom and comprising a beryllium oxide composition con...

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	ASLETT ZAN, LU GORDON V, KUSNER ROBERT E, CAMPBELL JEFFREY R, SMITH LARRY T, SAYER AARON B, CHUNG KYUNG H, GRENSING FRITZ C
Format:	Patent
Sprache:	kor
Schlagworte:	ARTIFICIAL STONE BASIC ELECTRIC ELEMENTS CEMENTS CERAMICS CHEMISTRY COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDINGMATERIALS CONCRETE ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY LAYERED PRODUCTS LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT ORNON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM LIME, MAGNESIA METALLURGY PERFORMING OPERATIONS REFRACTORIES SEMICONDUCTOR DEVICES SLAG TRANSPORTING TREATMENT OF NATURAL STONE
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Beschreibung
Zusammenfassung:	본 발명은, 상부 및 하부를 가지며, 95 중량% 이상의 산화베릴륨 및 임의적으로 불소/불화물 이온을 함유하는 산화베릴륨 조성물을 포함하는 베이스 플레이트에 관한 것이다. 상기 베이스 플레이트는 600℃ 이상의 온도에서 133kPa 이상의 클램핑 압력 및 800℃에서 1 x 105 ohm-m 초과의 벌크 저항률(bulk resistivity)을 나타낸다. A base plate containing a having a top and a bottom and comprising a beryllium oxide composition containing at least 95 wt % beryllium oxide and optionally fluorine/fluoride ion. The base plate demonstrates a clamping pressure of at least 133 kPa at a temperature of at least 600° C. and a bulk resistivity greater than 1×105 ohm-m at 800° C.