반도체 밸브에 유용한 시일 특성의 모니터링 및 분석을 위한 스마트 시일

시일 수명을 모니터링하기 위한 방법, 시스템 및 자가 감지 밸브 조립체가 개시된다. 상기 방법은 개방 위치에서 폐쇄 위치로 이동 가능한 밸브 조립체를 제공하는 단계를 포함하고, 상기 밸브 조립체는 상기 밸브 내에 안착되고 상기 밸브 조립체의 표면과 접촉하는 시일을 포함하고, 상기 시일은 작동 중일 때 성능 저하된다. 상기 밸브 조립체의 표면 또는 상기 밸브 조립체 내부에 마이크로 스트레인을 측정하기 위해 적어도 하나의 센서가 배치된다. 상기 밸브 조립체는 상기 시일이 성능 저하되는 작동 상태에 두어 상기 밸브 조립체의 상기 작동을 시작한다. 상기 작동이 시작된 후에, 마이크로 스트레인 데이터가 기록되고, 작동의 주변 조건 및 상기 시일의 성능 저하와 관련된 조건 중에서 선택된 조건과 관련된 적어도 하나의 다른 특성이 기록된다. 상기 기록된 데이터는 100% 시일 수명과 관련된 베이스라인 데이터에 대비하여 분석되어 상기 작동이 시작된 후의 시일 수명을 100% 미만인 시일 수명의 백분율로 평가한다. Methods, systems and a self-sensing valve assembly are described for monitoring seal life. The method includes providing a valve assembly movable from an open position to a closed position and including a seal seated within the valve and in contact with a surface of the valve assembly, wherein when the seal is in operation it is subject to degradation. At least one sensor is placed for measuring micro strain on a surface of the valve assembly or within the valve assembly. The valve assembly is placed in an operation wherein the seal is subject to degradation and the operation of the valve assembly is initiated. At a time after the operation is initiated, micro strain data is recorded and at least one other property related to a condition selected from an ambient condition of operation and a condition related to degradation of the seal is recorded; and the recorded data is analyzed against baseline data associated with 100% seal life to evaluate seal life at the time after the operation is initiated as a percentage of seal life less than 100%.