분할된 양면 웨이퍼 및 레티클 클램프
정전 클램프 및 그 제조 방법이 개시된다. 정전 클램프는 제1 스택 및 제2 스택을 포함하며, 여기서 제1 스택은 제2 스택과 연결된다. 제1 스택 및 제2 스택의 각각은 클램프 몸체, 클램프 몸체 상에 배치된 하나 이상의 전극, 전극 상에 배치된 유전체 플레이트, 및 클램프 몸체 내부의 복수의 채널을 포함한다. An electrostatic clamp and a method for fabricating the same. The electrostatic clamp includes a first stack and a second st...
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Format: | Patent |
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Zusammenfassung: | 정전 클램프 및 그 제조 방법이 개시된다. 정전 클램프는 제1 스택 및 제2 스택을 포함하며, 여기서 제1 스택은 제2 스택과 연결된다. 제1 스택 및 제2 스택의 각각은 클램프 몸체, 클램프 몸체 상에 배치된 하나 이상의 전극, 전극 상에 배치된 유전체 플레이트, 및 클램프 몸체 내부의 복수의 채널을 포함한다.
An electrostatic clamp and a method for fabricating the same. The electrostatic clamp includes a first stack and a second stack, wherein the first stack is joined with the second stack. Each of the first and second stacks includes a clamp body, one or more electrodes disposed on the clamp body, a dielectric plate disposed on the electrodes, and a plurality of channels inside the clamp body. |
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