LIQUID PROCESSING APPARATUS AND LIQUID PROCESSING METHOD

Provided is a technology for improving cleanliness of treatment liquid. According to an embodiment, a liquid processing device comprises a storage tank, a circulation line, a supply line, a return line, and at least one filter. The storage tank stores processing liquid. The circulation line returns the processing liquid sent from the storage tank to the storage tank. The supply line connects the circulation line and a supply unit for supplying the processing liquid to a substrate. The return line is connected to the supply line, and the return line returns the processing liquid from the supply line to the storage tank. The filter is provided in at least one of the supply line and the return line on an upstream side from a connection point between the return line and the supply line, and the filter removes foreign substances in the processing liquid. 처리액의 청정도를 향상시키는 기술을 제공한다. 실시 형태에 따른 액 처리 장치는, 저류 탱크와, 순환 라인과, 공급 라인과, 반환 라인과, 적어도 1 개의 필터를 구비한다. 저류 탱크는, 처리액을 저류한다. 순환 라인은, 저류 탱크로부터 보내지는 처리액을 저류 탱크로 되돌린다. 공급 라인은, 순환 라인과, 기판에 처리액을 공급하는 공급부를 접속한다. 반환 라인은, 공급 라인에 접속되어, 공급 라인으로부터 저류 탱크로 처리액을 되돌린다. 필터는, 반환 라인과 공급 라인과의 접속 개소보다 상류측의 공급 라인, 및 반환 라인의 적어도 일방에 마련되어, 처리액 중의 이물을 제거한다.