상태 판정 장치, 상태 판정 방법 및 컴퓨터 판독 가능한 기록 매체
상태 판정 장치는, 기판 처리 장치에 있어서 기판을 보유 지지하면서 동작시키도록 구성된 구동 기구의 상태를 판정한다. 당해 상태 판정 장치는, 구동 기구의 동작 데이터를 취득하도록 구성된 취득부와, 구동 기구의 정상 동작 시에 있어서 취득부에 의해 취득된 동작 데이터에서 유래되는 정상 동작 데이터에 기초하여, 오토 인코더를 사용한 기계 학습을 실행함으로써, 구동 기구의 감시 모델을 생성하도록 구성된 모델 생성부와, 구동 기구의 평가 시에 있어서 취득부에 의해 취득된 동작 데이터에서 유래되는 평가 데이터를 감시 모델에 입력해서 얻어지...
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| description | 상태 판정 장치는, 기판 처리 장치에 있어서 기판을 보유 지지하면서 동작시키도록 구성된 구동 기구의 상태를 판정한다. 당해 상태 판정 장치는, 구동 기구의 동작 데이터를 취득하도록 구성된 취득부와, 구동 기구의 정상 동작 시에 있어서 취득부에 의해 취득된 동작 데이터에서 유래되는 정상 동작 데이터에 기초하여, 오토 인코더를 사용한 기계 학습을 실행함으로써, 구동 기구의 감시 모델을 생성하도록 구성된 모델 생성부와, 구동 기구의 평가 시에 있어서 취득부에 의해 취득된 동작 데이터에서 유래되는 평가 데이터를 감시 모델에 입력해서 얻어지는 제1 출력 데이터에 기초하여, 구동 기구의 상태를 판정하도록 구성된 제1 판정부를 구비한다.
A state determination device determines the state of a drive mechanism configured to operate while holding a substrate in a substrate processing apparatus. The state determination part includes: an acquisition part configured to acquire operation data for the drive mechanism; a model generation part configured to generate a monitoring model for the drive mechanism by executing machine learning using an auto-encoder based on normal operation data that is derived from the operation data acquired by the acquisition part when the drive mechanism is operating normally; and a first determination part configured to determine the state of the drive mechanism based on first output data obtained by inputting, to the monitoring model, evaluation data that is derived from the operation data acquired by the acquisition part when the drive mechanism is being evaluated. |
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A state determination device determines the state of a drive mechanism configured to operate while holding a substrate in a substrate processing apparatus. The state determination part includes: an acquisition part configured to acquire operation data for the drive mechanism; a model generation part configured to generate a monitoring model for the drive mechanism by executing machine learning using an auto-encoder based on normal operation data that is derived from the operation data acquired by the acquisition part when the drive mechanism is operating normally; and a first determination part configured to determine the state of the drive mechanism based on first output data obtained by inputting, to the monitoring model, evaluation data that is derived from the operation data acquired by the acquisition part when the drive mechanism is being evaluated.</description><language>kor</language><subject>BASIC ELECTRIC ELEMENTS ; CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL ; CONTROLLING ; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ; ELECTRICITY ; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS ; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS ORELEMENTS ; PHYSICS ; REGULATING ; SEMICONDUCTOR DEVICES</subject><creationdate>2021</creationdate><oa>free_for_read</oa><woscitedreferencessubscribed>false</woscitedreferencessubscribed></display><links><openurl>$$Topenurl_article</openurl><openurlfulltext>$$Topenurlfull_article</openurlfulltext><thumbnail>$$Tsyndetics_thumb_exl</thumbnail><linktohtml>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&date=20211202&DB=EPODOC&CC=KR&NR=20210145769A$$EHTML$$P50$$Gepo$$Hfree_for_read</linktohtml><link.rule.ids>230,308,776,881,25542,76289</link.rule.ids><linktorsrc>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&date=20211202&DB=EPODOC&CC=KR&NR=20210145769A$$EView_record_in_European_Patent_Office$$FView_record_in_$$GEuropean_Patent_Office$$Hfree_for_read</linktorsrc></links><search><creatorcontrib>YANO MITSUTERU</creatorcontrib><creatorcontrib>SANO KEI</creatorcontrib><creatorcontrib>OHTA ATSUSHI</creatorcontrib><creatorcontrib>OKADA MOTOI</creatorcontrib><creatorcontrib>MAKI JUNNOSUKE</creatorcontrib><creatorcontrib>TSUTSUI TAKURO</creatorcontrib><creatorcontrib>TOYONAGA MASAOMI</creatorcontrib><title>상태 판정 장치, 상태 판정 방법 및 컴퓨터 판독 가능한 기록 매체</title><description>상태 판정 장치는, 기판 처리 장치에 있어서 기판을 보유 지지하면서 동작시키도록 구성된 구동 기구의 상태를 판정한다. 당해 상태 판정 장치는, 구동 기구의 동작 데이터를 취득하도록 구성된 취득부와, 구동 기구의 정상 동작 시에 있어서 취득부에 의해 취득된 동작 데이터에서 유래되는 정상 동작 데이터에 기초하여, 오토 인코더를 사용한 기계 학습을 실행함으로써, 구동 기구의 감시 모델을 생성하도록 구성된 모델 생성부와, 구동 기구의 평가 시에 있어서 취득부에 의해 취득된 동작 데이터에서 유래되는 평가 데이터를 감시 모델에 입력해서 얻어지는 제1 출력 데이터에 기초하여, 구동 기구의 상태를 판정하도록 구성된 제1 판정부를 구비한다.
A state determination device determines the state of a drive mechanism configured to operate while holding a substrate in a substrate processing apparatus. The state determination part includes: an acquisition part configured to acquire operation data for the drive mechanism; a model generation part configured to generate a monitoring model for the drive mechanism by executing machine learning using an auto-encoder based on normal operation data that is derived from the operation data acquired by the acquisition part when the drive mechanism is operating normally; and a first determination part configured to determine the state of the drive mechanism based on first output data obtained by inputting, to the monitoring model, evaluation data that is derived from the operation data acquired by the acquisition part when the drive mechanism is being evaluated.</description><subject>BASIC ELECTRIC ELEMENTS</subject><subject>CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL</subject><subject>CONTROLLING</subject><subject>ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR</subject><subject>ELECTRICITY</subject><subject>FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS</subject><subject>MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS ORELEMENTS</subject><subject>PHYSICS</subject><subject>REGULATING</subject><subject>SEMICONDUCTOR DEVICES</subject><fulltext>true</fulltext><rsrctype>patent</rsrctype><creationdate>2021</creationdate><recordtype>patent</recordtype><sourceid>EVB</sourceid><recordid>eNrjZAh_09z4tnmOwtueCW8WTFV4M2_pm50zdBRQRV9vWPl6E4jqV3ize8vbySvetmwAyb3ub1V4taHhddfSt1PnKLzaseH1wrkKr5cvebNpCw8Da1piTnEqL5TmZlB2cw1x9tBNLciPTy0uSExOzUstifcOMjIwMjQwNDE1N7N0NCZOFQDsfFEJ</recordid><startdate>20211202</startdate><enddate>20211202</enddate><creator>YANO MITSUTERU</creator><creator>SANO KEI</creator><creator>OHTA ATSUSHI</creator><creator>OKADA MOTOI</creator><creator>MAKI JUNNOSUKE</creator><creator>TSUTSUI TAKURO</creator><creator>TOYONAGA MASAOMI</creator><scope>EVB</scope></search><sort><creationdate>20211202</creationdate><title>상태 판정 장치, 상태 판정 방법 및 컴퓨터 판독 가능한 기록 매체</title><author>YANO MITSUTERU ; SANO KEI ; OHTA ATSUSHI ; OKADA MOTOI ; MAKI JUNNOSUKE ; TSUTSUI TAKURO ; TOYONAGA MASAOMI</author></sort><facets><frbrtype>5</frbrtype><frbrgroupid>cdi_FETCH-epo_espacenet_KR20210145769A3</frbrgroupid><rsrctype>patents</rsrctype><prefilter>patents</prefilter><language>kor</language><creationdate>2021</creationdate><topic>BASIC ELECTRIC ELEMENTS</topic><topic>CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL</topic><topic>CONTROLLING</topic><topic>ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR</topic><topic>ELECTRICITY</topic><topic>FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS</topic><topic>MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS ORELEMENTS</topic><topic>PHYSICS</topic><topic>REGULATING</topic><topic>SEMICONDUCTOR DEVICES</topic><toplevel>online_resources</toplevel><creatorcontrib>YANO MITSUTERU</creatorcontrib><creatorcontrib>SANO KEI</creatorcontrib><creatorcontrib>OHTA ATSUSHI</creatorcontrib><creatorcontrib>OKADA MOTOI</creatorcontrib><creatorcontrib>MAKI JUNNOSUKE</creatorcontrib><creatorcontrib>TSUTSUI TAKURO</creatorcontrib><creatorcontrib>TOYONAGA MASAOMI</creatorcontrib><collection>esp@cenet</collection></facets><delivery><delcategory>Remote Search Resource</delcategory><fulltext>fulltext_linktorsrc</fulltext></delivery><addata><au>YANO MITSUTERU</au><au>SANO KEI</au><au>OHTA ATSUSHI</au><au>OKADA MOTOI</au><au>MAKI JUNNOSUKE</au><au>TSUTSUI TAKURO</au><au>TOYONAGA MASAOMI</au><format>patent</format><genre>patent</genre><ristype>GEN</ristype><title>상태 판정 장치, 상태 판정 방법 및 컴퓨터 판독 가능한 기록 매체</title><date>2021-12-02</date><risdate>2021</risdate><abstract>상태 판정 장치는, 기판 처리 장치에 있어서 기판을 보유 지지하면서 동작시키도록 구성된 구동 기구의 상태를 판정한다. 당해 상태 판정 장치는, 구동 기구의 동작 데이터를 취득하도록 구성된 취득부와, 구동 기구의 정상 동작 시에 있어서 취득부에 의해 취득된 동작 데이터에서 유래되는 정상 동작 데이터에 기초하여, 오토 인코더를 사용한 기계 학습을 실행함으로써, 구동 기구의 감시 모델을 생성하도록 구성된 모델 생성부와, 구동 기구의 평가 시에 있어서 취득부에 의해 취득된 동작 데이터에서 유래되는 평가 데이터를 감시 모델에 입력해서 얻어지는 제1 출력 데이터에 기초하여, 구동 기구의 상태를 판정하도록 구성된 제1 판정부를 구비한다.
A state determination device determines the state of a drive mechanism configured to operate while holding a substrate in a substrate processing apparatus. The state determination part includes: an acquisition part configured to acquire operation data for the drive mechanism; a model generation part configured to generate a monitoring model for the drive mechanism by executing machine learning using an auto-encoder based on normal operation data that is derived from the operation data acquired by the acquisition part when the drive mechanism is operating normally; and a first determination part configured to determine the state of the drive mechanism based on first output data obtained by inputting, to the monitoring model, evaluation data that is derived from the operation data acquired by the acquisition part when the drive mechanism is being evaluated.</abstract><oa>free_for_read</oa></addata></record> |
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