피복 금형, 피복 금형의 제조 방법 및 경질 피막 형성용 타깃

양호한 슬라이딩 특성을 발휘하는 것이 가능하고, 드롭렛을 더욱 저감시켜서 내구성도 뛰어난 피복 금형을 제공한다. 작업면에 경질 피막을 갖는 피복 금형으로서, 상기 경질 피막은 Cr계 질화물인 두께 100nm 이하의 a1층과, (V1-aMa)(M은 Mo, W로부터 선택되는 적어도 1종)의 질화물 또는 탄질화물로 이루어지고, V와 M의 합계 에 대한 M의 원자비 a가 0. 05 이상 0. 45 이하인 두께 80nm 이하의 a2층이 교대로 적층한 A층을 포함하는, 피복 금형, 피복 금형의 제조 방법. 또한, 이 피복 금형의 제조 방법에...

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	SHOUJI TATSUYA, HONDA FUMIAKI
Format:	Patent
Sprache:	kor
Schlagworte:	CHEMICAL SURFACE TREATMENT CHEMISTRY COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL COATING METALLIC MATERIAL DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL MECHANICAL METAL-WORKING WITHOUT ESSENTIALLY REMOVINGMATERIAL METALLURGY PERFORMING OPERATIONS PUNCHING METAL SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION TRANSPORTING WORKING OR PROCESSING OF SHEET METAL OR METAL TUBES, RODS ORPROFILES WITHOUT ESSENTIALLY REMOVING MATERIAL
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Beschreibung
Zusammenfassung:	양호한 슬라이딩 특성을 발휘하는 것이 가능하고, 드롭렛을 더욱 저감시켜서 내구성도 뛰어난 피복 금형을 제공한다. 작업면에 경질 피막을 갖는 피복 금형으로서, 상기 경질 피막은 Cr계 질화물인 두께 100nm 이하의 a1층과, (V1-aMa)(M은 Mo, W로부터 선택되는 적어도 1종)의 질화물 또는 탄질화물로 이루어지고, V와 M의 합계 에 대한 M의 원자비 a가 0. 05 이상 0. 45 이하인 두께 80nm 이하의 a2층이 교대로 적층한 A층을 포함하는, 피복 금형, 피복 금형의 제조 방법. 또한, 이 피복 금형의 제조 방법에 사용할 수 있는 경질 피막 형성용 타깃. A method for manufacturing a hard coat-forming target includes using V powder and M powder to obtain a target composed of (V1-aMa). M is at least one selected from Mo and W. An atomic ratio a of M to the sum of V and M of 0.05 or more and 0.45 or less. A particle diameter of the M powder is smaller than a particle diameter of the V powder.