마스크 어댑터, 마스크 어댑터 장착 공구, 노광 장치, 및 디바이스 제조 방법

본 발명의 마스크 어댑터의 하나의 형태는, 스테이지에 지지된 마스크를 조명하고, 상기 마스크에 형성된 패턴을 기판 상에 노광하는 노광 장치에서 사용되며, 상기 마스크에 장착되는 마스크 어댑터로서, 상기 패턴이 형성된 영역 외에서 상기 마스크를 지지하는 지지부와, 상기 스테이지에 지지되는 피지지부를 가지는 본체부와, 상기 본체부 상으로서, 상기 노광 장치의 검출부에 의해서 검출 가능한 제1 피검출부를 구비하고, 상기 제1 피검출부는, 상기 마스크 어댑터에 관한 정보를 포함한다. This mask adapter is used in an exposure device that illuminates a mask supported on a stage and exposes a pattern formed in the mask, on to a substrate. The mask adapter is attached to the mask and comprises: a main body having a support section that supports the mask outside a region in which the pattern has been formed and a supported section supported by the stage; and a first section for detection, upon the main body and detectable by a detection unit in the exposure device. The first section for detection includes information pertaining to the mask adapter.