OCT 측정 빔 조정을 위한 방법 및 컴퓨터 프로그램 제품

2개의 축(C, D)에 대해 틸트 가능하고(tiltable) 측정 빔(12)을 2차원적으로 편향시키는 측정 미러 스캐너(13)의 측정 좌표계(15)와, 2개의 축(A, B)에 대해 틸트 가능하고 측정 미러 스캐너(13)에 의해 편향된 측정 빔(12)과 프로세싱 빔(1) 둘 다를 2차원적으로 가공물(2) 상으로 편향시키는 프로세싱 미러 스캐너(7)의 프로세싱 좌표계(10) 간의 병진 편차 및/또는 회전 편차를 결정하기 위한 방법 - 가공물(2)에서 반사된 측정 빔(12')은 입사 측정 빔(12)의 경로 상에 복귀하고, 가공물...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: NOTHEIS THOMAS, SAUTER ALEXANDER, HERMANI JAN PATRICK, STAMBKE MARTIN
Format: Patent
Sprache:kor
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