높은 유속, 가스-퍼지, 측면 저장 포드 장치, 어셈블리들, 및 방법들

일부 실시예들에서, 장비 전단부 모듈(EFEM)의 측면 저장 포드 장치는, 장비 전단부 모듈의 바디의 측벽에 커플링되도록 구성된 표면 및 장비 전단부 모듈로부터 기판들을 수용하도록 구성된 개구를 갖는 측면 저장 인클로저를 포함한다. EFEM은, 복수의 지지 부재들을 갖는, 측면 저장 인클로저 내의 측면 저장 챔버를 더 포함하며, 복수의 지지 부재들은 복수의 지지 부재들 상에 기판들을 지지하도록 구성된다. EFEM은 측면 저장 챔버 가까이에 제공된 플레넘 챔버 - 플레넘 챔버는 측면 저장 챔버와 별개의 챔버임 - 및 플레넘 챔버에 커플링된 배기 포트를 더 포함한다. In some embodiments, a side storage pod apparatus of an equipment front end module (EFEM) includes a side storage enclosure having a surface configured to couple to a side wall of a body of the equipment front end module, and an opening configured to receive substrates from the equipment front end module. The EFEM further includes a side storage chamber within the side storage enclosure having a plurality of support members configured to support substrates thereon. The EFEM further includes a plenum chamber provided proximate the side storage chamber, the plenum chamber being a separate chamber from the side storage chamber and an exhaust port coupled to the plenum chamber.