현수된 검출 요소를 포함하는, 전자기 복사를 검출하기 위한 디바이스를 제조하기 위한 방법

본 발명은 전자기 복사를 검출하기 위한 디바이스를 제조하는 방법에 관한 것으로서, 수직 오리피스(51) 내의 돌출부(2a)의 존재로 인해 관심 층(52)의 연속성에 국소 단절에 의해 형성된 측방향 관통 구멍(54a)을 포함하는 유지 기둥(50) 상에 현수된 검출 요소(80; 60)를 생성하는 단계를 포함한다. A process for fabricating a device for detecting electromagnetic radiation includes the step of providing a detecting element...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	YON JEAN JACQUES, BECKER SEBASTIEN
Format:	Patent
Sprache:	kor
Schlagworte:	COLORIMETRY MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT,POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED,VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT MEASURING MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY PERFORMING OPERATIONS PHYSICS PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTUREOR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS RADIATION PYROMETRY TESTING TRANSPORTING
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