슬러리를 준비하고 슬러리로 기판을 코팅하기 위한 장치 및 방법
기판 상에 코팅하기 위한 슬러리를 준비하는 장치 및 방법이 개시된다. 본 개시의 장치 및 방법은 적어도 하나의 통로를 갖는 폐쇄된 용적에 슬러리를 제공하는 것에 관련된다. 슬러리는 용매, 분말 및 결합제를 포함한다. 슬러리는 또한 분산제(dispersion agent)를 포함할 수 있다. 슬러리는 반복적으로 고압 하에서 제 1 흐름 방향으로 적어도 하나의 통로를 통과하도록 강제되고, 그 후 제 1 흐름 방향과 반대인 제 2 흐름 방향으로 다시 적어도 하나의 통로를 통과하도록 강제된다. 이와 같이 강제함으로써 용매 내에서 분말 및 결...
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Format: | Patent |
Sprache: | kor |
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