ETCHING SOLUTION METHOD FOR PROCESSING OBJECT AND METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR ELEMENT

오르토과요오드산과 암모니아를 함유하고, pH 가 3 이상인, 루테늄을 에칭 처리하기 위한 에칭액. 또, 상기 에칭액을 사용하여, 루테늄을 함유하는 피처리체를 에칭 처리하는 공정을 포함하는, 피처리체의 처리 방법, 그리고 반도체 소자의 제조 방법. A ruthenium etching solution including orthoperiodic acid and ammonia, the pH of the ruthenium etching solution being 3 or higher. In addition, a method for proce...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: OHHASHI TAKUYA, WADA YUKIHISA, SUGAWARA MAI
Format: Patent
Sprache:eng ; kor
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