Substrate transfer module substrate exchanging module and substrate processing system

The present invention relates to a substrate processing system, and more specifically, to a substrate transfer module which aligns a substrate arranged for substrate processing before transferring the same. To this end, disclosed in the present invention is a substrate transfer module which ejects substrates (10) from a cassette (1) on which a plurality of unprocessed substrates (10) are mounted to align the same in a Y-axis direction which is the substrate alignment direction, and comprises: at least one belt (200) which supports the substrates (10) by rotation while aligning the same in the Y-axis direction; and substrate alignment units (300, 400) which are spaced from each other corresponding to the length of the substrates (10) in the Y-axis direction, and include a plurality of alignment protrusions (310, 410) which upwardly protrude and vertical operating units (330, 430) which vertically operate the plurality of alignment protrusions (310, 410). Here, the substrate alignment units (300, 400) locate at least one substrate (10) between the alignment protrusions (310, 410) by rising in order to align the at least one substrate (10). 본 발명은, 기판처리시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판처리를 위해 배열되는 기판을 정렬하여 이송하는 기판이송모듈에 관한 것이다. 본 발명은, 다수의 미처리 기판(10)들이 적재된 카세트(1)로부터 기판(10)들을 인출하여 기판배열방향인 Y축방향으로 배열시키는 기판이송모듈로서, 회전을 통해 기판(10)들을 지지한 상태로 Y축방향을 따라서 배열하는 하나 이상의 벨트(200)와; 기판(10)의 Y축방향 길이에 대응하여 서로 이격되고, 상측으로 돌출형성되는 복수의 정렬돌기(310, 410)들과, 복수의 정렬돌기(310, 410)들을 상하로 구동하는 상하구동부(330, 430)를 포함하는 기판정렬부(300, 400)를 포함하며, 기판정렬부(300, 400)는, 상승을 통해 하나 이상의 기판(10)을 정렬돌기(310, 410)들 사이에 위치시킴으로써, 하나 이상의 기판(10)을 정렬하는 기판정렬부(300, 400)를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판이송모듈을 개시한다.