HYBRID POLYSILICON HETEROJUNCTION BACK CONTACT CELL

고효율의 태양 전지를 제조하는 방법이 개시된다. 이 방법은 규소 기판의 배면 상에 얇은 유전체 층 및 도핑된 폴리실리콘 층을 제공하는 단계를 포함한다. 후속적으로, 고품질의 산화물 층 및 와이드 밴드갭의 도핑된 반도체 층 둘 모두가 규소 기판의 배면 및 정면 상에 형성될 수 있다. 이어서, 접촉 개구들을 통해 도핑된 폴리실리콘 층 상에 금속 핑거들을 도금하는 금속화 공정이 수행될 수 있다. 도금된 금속 핑거들은 제1 금속 격자선을 형성할 수 있다. 제2 금속 격자선은 규소 기판의 배면 상의 이미터 영역에 금속을 직접 도금함으로써 형...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	SMITH DAVID D, COUSINS PETER J, RIM SEUNG B
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY SEMICONDUCTOR DEVICES
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