The method of repairing for susceptor

The present invention relates to a substrate processing apparatus and, more particularly, to a susceptor repairing method for repairing a susceptor of the substrate processing apparatus. According to the present invention, a susceptor has at least one heating wire member (200) provided therein to be isolated from the outside, wherein the at least one heating wire member (200) includes a pipe member (220) and a resistance coil (210) provided inside the pipe member (220) to generate heat by power supply. The susceptor repairing method comprises: a heating wire member exposure step (S200) of exposing at least a portion of the heating wire member (200) to the outside based on a disconnection point (240) at which the heating wire member (200) is disconnected; a connection step (S300) of electrically connecting the disconnected heating wire member (200); and a finishing step (S400) of isolating the heating wire member (200) from the outside after the connection step (S300). The present invention can remarkably reduce maintenance costs of a substrate processing apparatus. 본 발명은, 기판처리장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판처리장치의 서셉터를 수리하는 서텝터의 수리방법에 관한 것이다. 본 발명은 관부재(220) 및 관부재(220) 내부에 설치되어 전원인가에 의하여 발열하는 저항코일(210)을 포함하는 하나 이상의 열선부재(200)가 외부와 격리되도록 내부에 설치된 서셉터(20)에 있어서, 열선부재(200) 중 열선부재(200)가 단선된 단선지점(240)을 중심으로 적어도 일부를 외부로 노출시키는 열선부재 노출단계(S200)와; 단선된 열선부재(200)를 전기적으로 연결시키는 연결단계(S300)와; 연결단계(S300) 후에 열선부재(200)를 외부와 격리시키는 마감단계(S400)를 포함하는 것을 특징으로 하는 서셉터 수리방법을 개시한다.