희토류 질화물 구조체와 소자 및 패시베이션 캐핑 제거방법
본 발명은 희토류 질화물 재료, 및 희토류 질화물 재료를 패시베이션하기 위한 제거 가능한 캐핑을 포함하는 구조체 또는 소자에 관한 것이다. The present invention concerns a structure or device comprising a rare earth nitride material, and a removable capping for passivating the rare earth nitride material....
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| Format: | Patent |
| Sprache: | kor |
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| Zusammenfassung: | 본 발명은 희토류 질화물 재료, 및 희토류 질화물 재료를 패시베이션하기 위한 제거 가능한 캐핑을 포함하는 구조체 또는 소자에 관한 것이다.
The present invention concerns a structure or device comprising a rare earth nitride material, and a removable capping for passivating the rare earth nitride material. |
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