링 동적 정렬 데이터를 사용한 에지 링 센터링 방법

기판 지지부 상에서 에지 링의 정렬을 결정하는 시스템은 에지 링을 기판 지지부 상에 배치하고 상기 에지 링을 상기 기판 지지부로부터 회수하기 위해 로봇을 제어하도록 구성된 로봇 제어 모듈을 포함한다. 정렬 모듈이 상기 기판 지지부 상에 배치되기 전에 상기 로봇 상의 상기 에지 링의 복수의 제 1 위치들을 결정하고 상기 기판 지지부로부터 회수되는 것에 후속하여 상기 로봇 상의 상기 에지 링의 복수의 제 2 위치들을 결정하도록 구성된다. 에지 링 포지셔닝 모듈이 상기 복수의 제 1 위치들과 상기 복수의 제 2 위치들 간의 오프셋들에 기...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	GENETTI DAMON TYRONE, YAN HAOQUAN, ESTOQUE MARC, MCCHESNEY JON, PATERSON ALEXANDER MILLER, TAN ALI SUCIPTO
Format:	Patent
Sprache:	kor
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY SEMICONDUCTOR DEVICES
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