링 동적 정렬 데이터를 사용한 에지 링 센터링 방법

기판 지지부 상에서 에지 링의 정렬을 결정하는 시스템은 에지 링을 기판 지지부 상에 배치하고 상기 에지 링을 상기 기판 지지부로부터 회수하기 위해 로봇을 제어하도록 구성된 로봇 제어 모듈을 포함한다. 정렬 모듈이 상기 기판 지지부 상에 배치되기 전에 상기 로봇 상의 상기 에지 링의 복수의 제 1 위치들을 결정하고 상기 기판 지지부로부터 회수되는 것에 후속하여 상기 로봇 상의 상기 에지 링의 복수의 제 2 위치들을 결정하도록 구성된다. 에지 링 포지셔닝 모듈이 상기 복수의 제 1 위치들과 상기 복수의 제 2 위치들 간의 오프셋들에 기초하여 상기 기판 지지부에 상대적으로 상기 에지 링의 센터링된 (centered) 위치를 결정하도록 구성된다. A system for determining an alignment of an edge ring on a substrate support includes a robot control module configured to control a robot to place the edge ring onto the substrate support and retrieve the edge ring from the substrate support. An alignment module is configured to determine a plurality of first positions of the edge ring on the robot prior to being placed onto the substrate support and determine a plurality of second positions of the edge ring on the robot subsequent to being retrieved from the substrate support. An edge ring position module configured to determine a centered position of the edge ring relative to the substrate support based on offsets between the plurality of first positions and the plurality of second positions.