PROBE APPARATUS

To allow a probe pin to press an electrode with an optimum contact pressure in a state where a probe pin is aligned with an electrode, a probe apparatus according to an embodiment of the present invention, can include a moving module configured to move toward a substrate; a probe module movably installed with respect to the moving module and having a probe pin in contact with the electrode of the substrate; an imaging unit for photographing the probe pin when the probe pin is in contact with an electrode of the substrate; and a control unit for determining whether or not the probe pin is in contact with the electrode of the substrate based on the image of the probe pin captured by the imaging unit. 본 발명의 실시예에 따른 프로브 장치는 프로브 핀이 전극과 정렬된 상태로 최적의 접촉 압력으로 전극을 가압할 수 있도록 하기 위한 것으로, 기판을 향하여 이동 가능하게 구성되는 이동 모듈; 이동 모듈에 대하여 이동 가능하게 설치되며, 기판의 전극과 접촉하는 프로브 핀이 설치되는 프로브 모듈; 프로브 핀이 기판의 전극과 접촉할 때 프로브 핀을 촬상하는 촬상 유닛; 및 촬상 유닛에 의해 촬상된 프로브 핀의 이미지를 기준으로 프로브 핀이 기판의 전극과 접촉하는지 여부를 판단하는 제어 유닛을 포함할 수 있다.