반도체 디바이스들 또는 다른 컴포넌트들의 릴-투-릴 검사를 지원하는 고정물

시스템은 방사선을 생성하도록 구성되는 방사선 소스(202), 및 방사선이 검사될 컴포넌트들을 통과한 후에 방사선을 검출하도록 구성되는 방사선 검출기(204)를 갖는 컴포넌트 검사 시스템(200)을 포함한다. 또한, 시스템은 컴포넌트들이 그 안에 또는 그 상에 위치되는 테이프(506)를 수용하도록 각각 구성되는 다수의 릴(502, 504)을 수용하도록 구성되는 고정물(100)을 포함한다. 고정물은 지지체에 고정되도록 구성되는 베이스(102), 샤프트(104), 그 샤프트에 장착되고 릴들을 회전시키도록 구성되는 하나 이상의 모터(108...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	NG JOSHUA, WHEELER JASON L, FASOLINO STEPHEN T
Format:	Patent
Sprache:	kor
Schlagworte:	CONVEYING HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS,CABLES INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES MEASURING PACKING PERFORMING OPERATIONS PHYSICS STORING TESTING TRANSPORTING
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