반도체 디바이스들 또는 다른 컴포넌트들의 릴-투-릴 검사를 지원하는 고정물

시스템은 방사선을 생성하도록 구성되는 방사선 소스(202), 및 방사선이 검사될 컴포넌트들을 통과한 후에 방사선을 검출하도록 구성되는 방사선 검출기(204)를 갖는 컴포넌트 검사 시스템(200)을 포함한다. 또한, 시스템은 컴포넌트들이 그 안에 또는 그 상에 위치되는 테이프(506)를 수용하도록 각각 구성되는 다수의 릴(502, 504)을 수용하도록 구성되는 고정물(100)을 포함한다. 고정물은 지지체에 고정되도록 구성되는 베이스(102), 샤프트(104), 그 샤프트에 장착되고 릴들을 회전시키도록 구성되는 하나 이상의 모터(108, 110), 및 샤프트와 베이스를 커플링하는 하나 이상의 조인트(106)를 포함한다. 하나 이상의 조인트는 (i) 베이스에 대한 샤프트의 배향을 변경하기 위한 샤프트의 종축을 중심으로 한 샤프트의 회전 및 (ii) 샤프트가 베이스로부터 이격되어 연장되는 방향을 변경하기 위한 샤프트의 회전을 허용하도록 구성된다. A system includes a component inspection system having a radiation source configured to generate radiation and a radiation detector configured to detect the radiation after the radiation passes through components to be inspected. The system also includes a fixture configured to receive multiple reels that are each configured to receive a tape in or on which the components are located. The fixture includes a base configured to be secured to a support, a shaft, one or more motors mounted to the shaft and configured to rotate the reels, and one or more joints coupling the shaft and base. The one or more joints are configured to allow (i) rotation of the shaft about a longitudinal axis of the shaft to change an orientation of the shaft with respect to the base and (ii) rotation of the shaft to change a direction at which the shaft extends away from the base.