POLYMER ORGANIC LAYER COMPOSITION AND METHOD OF FORMING PATTERNS
화학식 1로 표현되는 구조단위 및 화학식 2로 표현되는 구조단위를 포함하는 중합체, 상기 중합체를 포함하는 유기막 조성물, 그리고 상기 유기막 조성물을 사용하는 패턴형성방법에 관한 것이다. 상기 화학식 1 및 2의 정의는 명세서 내에 기재한 바와 같다. The present invention provides a polymer comprising a structure unit represented by chemical formula 1 below and a structure unit represented by chemical form...
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; kor |
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