method for manufacturing of metal nanostructure and substrate for surface enhanced raman scattering including the metal nanostructure by manufacturing the same method
본 발명은 금속 나노구조체의 제조방법에 관한 것으로서, 상세하게는 다공성 나노 템플레이트를 기판으로 준비하는 제1단계; 상기 기판 상에 표면 플라즈몬 공명(Surface Plasmon Resonance: SPR)을 나타내는 금속을 증착시키는 제2단계; 및 상기 제2단계 후, 기판을 제거함으로써 금속 나노구조체를 수득하는 제3단계;를 포함하고, 상기 다공성 나노 템플레이트는, 알루미늄 박막층 및 상기 박막층 상부에 형성되는 다공성 양극산화 알루미늄 피막층으로 이루어진 통상의 양극산화 알루미늄(Anodized Aluminum Oxide...
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Format: | Patent |
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Zusammenfassung: | 본 발명은 금속 나노구조체의 제조방법에 관한 것으로서, 상세하게는 다공성 나노 템플레이트를 기판으로 준비하는 제1단계; 상기 기판 상에 표면 플라즈몬 공명(Surface Plasmon Resonance: SPR)을 나타내는 금속을 증착시키는 제2단계; 및 상기 제2단계 후, 기판을 제거함으로써 금속 나노구조체를 수득하는 제3단계;를 포함하고, 상기 다공성 나노 템플레이트는, 알루미늄 박막층 및 상기 박막층 상부에 형성되는 다공성 양극산화 알루미늄 피막층으로 이루어진 통상의 양극산화 알루미늄(Anodized Aluminum Oxide : AAO) 템플레이트이거나, 상기 양극산화 알루미늄 템플레이트를 에칭하여 양극산화 알루미늄 피막층 또는 알루미늄 박막층이 제거된 템플레이트인 것을 특징으로 하는, 금속 나노구조체의 제조방법에 관한 것이다. |
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