TOOLS AND METHODS FOR PROCESSING MICROELECTRONIC WORKPICES USING PROCESS CHAMBER DESIGNS THAT EASILY TRANSITION BETWEEN OPEN AND CLOSED MODES OF OPERATION

본 발명은 장치 및 이를 이용한 방법에 관한 것으로 상기 장치는 개방 동작 모드와 폐쇄 동작모드 중 어느 하나로 동작할 수 있다. 이 장치는 요구시에 개방 동작 모드와 폐쇄 동작 모드 사이를 용이하게 변경할 수 있다. 본 발명에 따라, 환경적으로 제어된 통로(들)는 주위를 하나 이상의 처리실과 연결한다. 처리실(들) 상류의 공기 증폭 능력은 요구시 공기의 유동이 처리실(들)에 도입되게 한다. 대안적으로, 이들 통로를 통한 주위에 대한 배기를 차단하기 위해 간단히 밸브를 작동함으로써 유체 통로가 용이하게 폐쇄된다. 비 주위 유체의 또...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	COLLINS JIMMY D, GAST TRACY A, LAUERHAAS JEFFREY M, ROSE ALAN D
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS SEMICONDUCTOR DEVICES TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ARTCOLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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