OPTICAL MODULE

본 발명은 광학 요소(109)와 광학 요소(109)를 지지하기 위한 지지 구조(108)를 포함하는 광학 모듈, 특히, 패싯 거울에 관한 것으로, 지지 구조(108)는 적어도 하나의 자유도로 광학 요소(109)의 위치 및/또는 배향을 능동적으로 설정하기 위한 위치설정 장치(111)를 포함한다. 지지 구조(108)는 제1 접촉 섹션(113.2)을 갖는 적어도 하나의 접촉 유닛(113.1)을 갖는 선택적으로 작동가능한 접촉 장치(113)를 포함하고, 제1 접촉 섹션(113.2)은 접촉 장치(113)의 작동된 상태에서, 광학 요소(109; 209) 상에 접촉력을 작용하기 위해 광학 요소(109)의 제2 접촉 섹션(109.4)과 접촉하고, 제1 접촉 섹션(113.2)은 접촉 장치(113)의 비작동 상태에서 제2 접촉 섹션(109.4)으로부터 제거된다. The present invention relates to an optical module, in particular facet mirror, comprising an optical element and a supporting structure for supporting the optical element, wherein the supporting structure comprises a positioning device for actively setting a position and/or orientation of the optical element in at least one degree of freedom. The supporting structure comprises a selectively activatable contacting device having at least one contacting unit having a first contact section, wherein the first contact section, in an activated state of the contacting device, contacts a second contact section of the optical element in order to exert a contact force on the optical element, while the first contact section, in a deactivated state of the contacting device is removed from the second contact section.