UV-IRRADIATION APPARATUS FOR CLOCKED OPERATION
본 발명은 UV-방사선 및 W-방사선, 즉, 가시광선 및/또는 적외선 모두를 방출하는 하나 이상의 방사원, 조사되는 기판들을 이송하기 위한 이송 장치, 약 45°의 각으로 UV-방사선을 반사하고 W-방사선을 전송하는 하나 이상의 파장-길이 선택 필터, 파장-길이 선택 필터에 의해 편향되지 않는 W-방사선의 광선-경로 내의 전파 방향에서 광학 필터의 다운스트림에 배열되는 적외선 흡수 수단을 구비하는 조사 장치로서, 상기 적외선 흡수 수단은 또한 가시광선 및 자외선을 흡수하는 수단으로 설계되고, 상기 조사 장치는 파장-길이 선택 필터를...
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; kor |
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