FLEXIBLE SUBSTRATE TENSIONER

인장 장치에 탑재된 상태에서 처리 전, 처리 동안 및 처리 후에 평탄도를 확보하도록 폴리이미드 혹은 기타 필름 등의 가요성 기판을 재현가능하면서 가역적으로 인장시키는 것을 돕는 장치 및 방법.

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: WESTBY GEORGE R, HARVILCHUCK LAURENCE A
Format: Patent
Sprache:eng ; kor
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