WAFER SUPPORTING METHOD AND WAFER HOLDER FOR HIGH-TEMPERATURE SEMICONDUCTOR-MANUFACTURE-LINE

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	LEE, CHUNG HUN, SONG, MYONG HUN, JANG, TAEK YONG, LEE, BYOUNG IL, PARK, KOUEN SU
Format:	Patent
Sprache:	eng
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY SEMICONDUCTOR DEVICES
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