Module for aligning optical fiber with MOEMS optical switch device

PURPOSE: A module for optical alignment of an optical switch device and an optical fiber is provided to align optical fiber arrangement and an optical axis of the optical switch device accurately and easily as reducing fabrication cost of the module. CONSTITUTION: A silicon optical bench(SiOB) has a number of grooves(3) formed on an upper part of edges of two sides, and has a cavity(2) on one edge, and has metal lines(5) on a bottom of the cavity. An optical fiber arrangement(8) is inserted into the groove respectively. A lens(9) is inserted into the groove between the optical fiber and the cavity respectively. And an optical switch device has a mirror aligned to the optical fiber through the lens and a bonding pad located on the cavity to contact a pad of the metal line. 본 발명은 N×N 매트릭스(Matrix)형 MOEMS 광스위치 소자와 광섬유 간의 광정렬을 이루기 위한 모듈에 관한 것으로, 실리콘 광학벤치(Silicon Optical Bench; SiOB)를 이용하는 모듈의 구조 및 패키징 공정을 제시한다. 광섬유 배열(Fiber Array)이 실장되는 실리콘 광학벤치(SiOB)에는 N×N 매트릭스형 MOEMS 광스위치 소자에 대응하도록 사각형의 공동(Cavity)이 형성되고 공동의 저면에는 금속배선이 형성된다. MOEMS 광스위치 소자는 매트릭스 형태로 배열된 거울이 광섬유와 일치하고 접합패드는 실리콘 광학벤치(SiOB)의 금속배선과 전기적으로 연결되도록 플립칩 본딩(Flip Chip Bonding) 방법으로 실리콘 광학벤치(SiOB)의 공동부에 부착된다. 플립칩 본딩 장비를 이용한 정렬 접합을 통해 광섬유 배열과의 광축 정렬을 수동 방식으로 이룬다. 또한, 본 발명은 실리콘 광학벤치를 블록 형태로 제작한 후 기판에 수동 배열 및 접합시키므로써 제조 수율을 높이는 한편, 제조 가격을 크게 감소시킬 수 있다.