Loader port

PURPOSE: A loader port is provided to recognize the presence of wafer within a wafer carrier by using a wafer transfer unit including a vacuum sucking unit and a vacuum sensor. CONSTITUTION: A loader port includes a wafer transfer unit(20), a vacuum sucking unit(21), and a vacuum sensor in order to load a wafer carrier(1) for storing wafers(2). The wafer transfer unit(20) is inserted under the wafer(2) of the lowest end of the wafer carrier. The vacuum sucking unit(21) and the vacuum sensor are formed at a front end of the wafer transfer unit(20). The presence of the wafer is recognized by the vacuum sucking unit(21) and the vacuum sensor when the wafer transfer unit(20) comes in contact with the wafer(2). 본 발명은, 웨이퍼(wafer) 표면에 자외선(ultraviolet; UV) 테이프(tape)를 부착하는 테이프 라미네이터(laminator) 장치 및 상기 자외선 테이프를 벗겨내는 테이프 제거 장치에서 웨이퍼들을 로딩하기 위해 웨이퍼가 담겨진 캐리어(carrier)를 장착하는 로더 포트(loader port)에 관한 것으로, 웨이퍼의 인(in)/아웃(out)을 실행하는 장치 내부 웨이퍼 이송 유닛(wafer transfer unit)을 포함하고, 장치 내부 웨이퍼 이송 유닛의 선단에 진공 흡착부 및 진공을 감지하는 센서를 부착하여, 상기 웨이퍼 이송 유닛이 상기 웨이퍼와 접촉되어 상기 진공 흡착부에 진공이 형성될 때 상기 웨이퍼의 존재를 판별한다. 이러한 구조로 인하여, 본 발명은 캐리어 용기 속의 웨이퍼를 판별하지 못하는 문제를 방지하고, 또한, 레이져 광 센서 이상 발생시 교체하거나 수리할 때까지의 시간 동안 설비의 가동이 중단되는 문제를 방지할 수 있다.