Photocathode having ultra-thin protective layer

PURPOSE: A photocathode with an extremely thin protective film is provided to simplify processes, reduce costs and allow for ease of manufacture of device using a photocathode with a large area, by permitting processes to be freely performed in the atmosphere after the evaporation of photoelectric surface. CONSTITUTION: A photocathode comprises a transparent substrate(21); a photoelectric surface(24) evaporated on the transparent substrate, and which converts the light incident through the transparent substrate into electrons and emits electrons; a first photoelectric surface protective film(25) for covering the photoelectric surface and protecting the photoelectric surface from atmosphere; a transparent conductive plate(22) interposed between the transparent substrate and the photoelectric surface; and a second photoelectric substrate(23) interposed between the transparent conductive plate and the photoelectric surface. The electrons emitted from the photoelectric surface pass through the first photoelectric surface protective film by tunneling effects. 본 발명은 광전효과를 이용하여 광전자 발생을 위하여 사용하는 광전면(光電面)이 대기와 접촉을 하게 될 때 기존의 대부분의 광전면 재료가 산소와의 높은 반응성으로 인하여 광전 효율이 급격하게 저하되는 현상을 방지하기 위한 광전면 보호막과 광음극(photocathode)의 구조에 관한 것으로, 예를 들어, 얇은 다이아몬드성 탄소 박막을 광음극 보호막으로 사용하여, 광전면과 대기와의 차단을 통한 광전면 보호의 기능을 수행함과 동시에 광전면에서 발생하는 전자는 얇은 두께로 증착된 다이아몬드성 탄소 박막을 터널링으로 통과하게 하여 광음극의 성능에는 영향을 주지 않도록 한다. 이러한 보호막을 사용함으로써 광전면 증착 이후의 공정들을 대기 중에서 자유롭게 행할 수 있게 되어 공정을 단순화시켜서 공정단가를 낮추고 또한 대면적의 광음극을 이용한 소자나 장치의 제작을 용이하게 하는 효과가 있다