MULTI-CHAMBER

MULTI-CHAMBER

본 고안은 다중챔버에 관한 것으로, 각각의 공정챔버를 개별적으로 습식세정할 수 있도록 밸브가 설치된 세정가스 공급관을 각 공정챔버의 공정가스 공급관에 연결하므로써 효율적인 공정의 진행으로 생산성을 향상시킬수 있도록 한 다중챔버에 관한 것이다....

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: CHOI, CHUL YUL, JI, SOO YOUN, HONG, SUNG KYU
Format: Patent
Sprache:eng ; kor
Schlagworte:
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
ELECTRICITY
SEMICONDUCTOR DEVICES
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Beschreibung
Zusammenfassung:본 고안은 다중챔버에 관한 것으로, 각각의 공정챔버를 개별적으로 습식세정할 수 있도록 밸브가 설치된 세정가스 공급관을 각 공정챔버의 공정가스 공급관에 연결하므로써 효율적인 공정의 진행으로 생산성을 향상시킬수 있도록 한 다중챔버에 관한 것이다.