HIGH PRESSURE HEAT TREATMENT APPARATUS AND PROCESS GAS LINE USED THEREFOR

The present invention provides a high-pressure heat treatment apparatus to structurally eliminate risk of gas leakage and a process gas line used for the same. According to the present invention, the high-pressure heat treatment apparatus comprises: an inner chamber including an inner housing formed to receive an object to be heat-treated and an inner door configured to be movable between a closed position closing the inner housing and an open position opening the inner housing; an outer chamber including an outer housing arranged to receive the inner chamber and an outer door configured to be movable to open and close the outer housing; and an air supply module including a process gas line supplying a process gas for heat treatment of the object into the inner chamber at a first pressure higher than atmospheric pressure and a protective gas line supplying a protective gas to a protective space between the outer chamber and the inner chamber at a second pressure set in relation to the first pressure. The process gas line comprises includes: an introduction section including an outlet arranged to be affected by the protective gas in the protective space; and a delivery section including a connection port connected to the outlet in the closed position and moved away from the outlet in the open position and delivering the process gas received from the introduction section into the inner housing. 본 발명은, 열처리를 위한 대상물을 수용하도록 형성되는 내부 하우징과, 상기 내부 하우징을 폐쇄하는 닫힘 위치와 상기 내부 하우징을 개방하는 열림 위치 간에 이동 가능하게 구성되는 내부 도어를 구비하는 내부 챔버; 상기 내부 챔버를 수용하도록 배치되는 외부 하우징과, 상기 외부 하우징을 개폐하도록 이동 가능하게 구성되는 외부 도어를 구비하는 외부 챔버; 및 상기 내부 챔버 내에 상기 대상물의 열처리를 위한 공정 가스를 대기압보다 높은 제1 압력으로 공급하는 공정가스 라인과, 상기 외부 챔버와 상기 내부 챔버 사이의 보호 공간에 보호 가스를 상기 제1 압력과 관련해 설정된 제2 압력으로 공급하는 보호가스 라인을 구비하는 급기 모듈을 포함하고, 상기 공정가스 라인은, 상기 보호 공간에 상기 보호 가스의 영향을 받도록 배치되는 토출구를 구비하는 도입 섹션; 및 상기 닫힘 위치에서 상기 토출구에 접속되고 상기 열림 위치에서 상기 토출구로부터 이격되도록 이동되는 접속구를 구비하고, 상기 도입 섹션으로부터 입력받은 상기 공정 가스를 상기 내부 하우징 내로 전달하는 전달 섹션을 포함하는, 고압 열처리 장치 및 그에 사용되는 공정가스 라인을 제공한다.