2 Coating method for parts of electrical and electronic manufacturing equipment using two step sand blasting and grinding and parts coated by this method

The present invention relates to a method for coating parts of electrical and electronic product manufacturing equipment using double sandblasting and polishing and to parts coated by the same method, whose purpose is to enhance durability such as adhesion strength (peel strength), anti-static properties, etc., of parts (clamps, grippers, etc.) used in equipment for manufacturing electrical and electronic products (devices, finished products, etc.) such as semiconductors and display panels through a combination of materials for elastic layer coating agents, surface treatment (surface roughness) of parts by double sandblasting, polishing, etc. The method of coating parts for electrical and electronic product manufacturing equipment using double sandblasting and polishing according to the present invention comprises: a first step of sandblasting the surface of the part two times repeatedly; a second step of washing the part surface-treated through the first step; a third step of forming an adhesive layer on the surface of the part after the second step; a fourth step of forming an elastic layer by coating a coating agent on the surface of the adhesive layer formed in the third step; and a fifth step of, after forming the elastic layer through the fourth step, adjusting the thickness by maturing the part at least once and flat-polishing the part. The first step includes a primary sandblasting step and a secondary sandblasting step. The primary sandblasting step is performed with a primary abrasive with a particle size of #80 ± 5 % at a spraying pressure of 3 to 8 KG/cm^2 for a spraying time of 25 to 35 seconds. The secondary sandblasting step is performed with a secondary abrasive with a particle size of #25 ± 5 %, which is larger than that of the primary abrasive, at a spraying pressure of 3 to 8 KG/cm^2 for a spraying time of 30 to 90 seconds to gradually widen the surface area. 본 발명은 2차 샌드 블라스팅과 연마를 이용한 전기전자 제품 제조장비용 부품의 코팅 방법 및 이 방법에 의해 코팅된 부품에 관한 것으로, 탄성층 코팅제의 재료, 2차 샌드 블라스팅에 의한 부품의 표면처리(표면 거칠기), 연마 등의 조합을 통해 반도체와 디스플레이패널 등 전기전자 제품(소자, 완제품 등)을 제조하기 위한 장비에 사용되는 부품(클램프, 그립퍼 등)의 접착강도(박리강도), 정전기 방지 특성 등 내구성을 향상하는 것을 목적으로 한다. 본 발명에 의한 2차 샌드 블라스팅과 연마를 이용한 전기전자 제품 제조장비용 부품의 코팅 방법은, 부품의 표면을 2차의 반복으로 샌드 블라스팅하는 제1단계와; 상기 제1단계를 통해 표면처리 된 부품을 세척하는 제2단계와; 상기 제2단계 후 상기 부품의 표면에 접착층을 형성하는 제3단계와; 상기 제3단계에서 형성한 접착층 표면에 코팅제를 코팅하여 탄성층을 형성하는 제4단계와; 상기 제4단계를 통해 탄성층을 형성한 후 상기 부품을 1회 이상의 숙성을 거치고 평면 연마하여 두께를 조절하는 제5단계를 포함하고, 상기 제1단계는 1차 샌드 블라스팅 단계 및 2차 샌드 블라스팅 단계로 이루어지며, 상기 1차 샌