ELECTRON MICROSCOPE BASED ON HEAT TRANSFER MODEL PREDICTION TECHNIQUE AND CONTROL METHOD THEREOF

An electron microscope according to one embodiment may include: an electronic lens block; a cooling unit installed at the electronic lens block, and having a conduit through which a refrigerant flows and a cooler cooling the refrigerant; a temperature sensor which measures the temperature of the electronic lens block; and a control unit which derives a first heat exchange transfer function based on a time delay characteristic between a current applied to the electronic lens block and the temperature measured at the temperature sensor, and adjusting a cooling amount of the cooling unit based on the current applied to the electronic lens block and the first heat exchange transfer function. 일 실시 예에 따른 전자 현미경은, 전자 렌즈 블록; 상기 전자 렌즈 블록에 설치되고 냉매가 유동하는 도관 및 상기 냉매를 냉각하는 냉각기를 구비하는 냉각부; 전자 렌즈 블록의 온도를 계측하는 온도 센서; 및 상기 전자 렌즈 블록에 인가되는 전류 및 상기 온도 센서에서 계측되는 온도 사이의 시간 지연 특성에 기초하여 제 1 열 교환 전달 함수를 도출하고, 상기 전자 렌즈 블록에 인가되는 전류 및 상기 제 1 열 교환 전달 함수에 기초하여 상기 냉각부의 냉각량을 조절하는 제어부를 포함할 수 있다.