기판 사전 정렬 방법

본 발명은 기판을 사전 정렬하는 방법에 관한 것으로, 1) 표면에 복수 개의 표식이 환상으로 배열된 기판을 제공하고, 상기 복수 개의 표식 각각은 제 1 방향으로 연장되는 적어도 하나의 제 1 스트라이프 및 제 2 방향으로 연장되는 적어도 하나의 제 2 스트라이프로 구성되는 단계, 2) 상기 기판의 중심을 기판 이송 스테이지상의 주어진 지점과 정렬하는 단계, 3) 상기 기판의 표면상의 복수개의 표식으로부터 선택된 표식에 광을 조사하여 상기 선택된 표식의 이미지를 획득하는 단계, 4) 상기 제 1 방향에 해당하는 제 1 투사 데이터...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Format:	Patent
Sprache:	kor
Schlagworte:	APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR BASIC ELECTRIC ELEMENTS CINEMATOGRAPHY ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY ELECTROGRAPHY HOLOGRAPHY MATERIALS THEREFOR ORIGINALS THEREFOR PHOTOGRAPHY PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES PHYSICS SEMICONDUCTOR DEVICES
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