An abrasive pad and manufacturing method thereof

본 발명은 연마 패드 및 이의 제조방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 연마 공정 시 슬러리(slurry)의 사용 및/또는 컨디셔닝(conditioning) 공정이 불필요한 연마 패드 및 이의 제조방법에 대한 것이다. 본 발명에 의해 제조된 연마 패드는 자가-컨디셔닝 성형체를 수성 폴리우레탄으로 코팅함으로써 용출 속도 제어가 가능하고, 피연마체의 연마 공정 시 별도의 슬러리를 사용하지 않아도 되며, 별도의 컨디셔닝 공정을 수행하지 않아도 되므로 장비의 유휴 시간이 소모되지 않아 연마 공정의 생산성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다....

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Hauptverfasser: PARK, SUNG HO, SEO, YOUNG GIL, PARK, TAE JIN, MOON, DEOG JU, CHO, SI HYEONG
Format: Patent
Sprache:eng ; kor
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Beschreibung
Zusammenfassung:본 발명은 연마 패드 및 이의 제조방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 연마 공정 시 슬러리(slurry)의 사용 및/또는 컨디셔닝(conditioning) 공정이 불필요한 연마 패드 및 이의 제조방법에 대한 것이다. 본 발명에 의해 제조된 연마 패드는 자가-컨디셔닝 성형체를 수성 폴리우레탄으로 코팅함으로써 용출 속도 제어가 가능하고, 피연마체의 연마 공정 시 별도의 슬러리를 사용하지 않아도 되며, 별도의 컨디셔닝 공정을 수행하지 않아도 되므로 장비의 유휴 시간이 소모되지 않아 연마 공정의 생산성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다. 또한, 본 발명에 의해 제조된 연마 패드는 연마 보조재를 포함하여 연마 성능을 향상시키는 효과가 있다. The invention relates to a grinding pad and a manufacturing method of the grinding pad, and is characterized in that when the grinding process is carried out, a slurry is not required to be used, or agrinding pad in an adjusting procedure and other manufacturing methods are not required. The grinding pad is formed by a self-adjusting forming body coating with waterborne polyurethane, the dissolution rate can be controlled. When the grinding process of the grinded body is carried out, extra slurry does not need to be used, and additional adjustment procedures do not need to be carried out. Idle time of the device is avoided, and the production performance of the grinding process can be improved. The grinding pad comprises grinding auxiliary materials, so that the grinding performance is improved.