APPARATUS FOR PRESSURIZATION PROCESS

A pressing apparatus is provided to improve the speed of processing processed objects and decrease the size of a chamber body to reduce the space and material cost. An apparatus(200) for applying a predetermined pressure to a processed object includes an inlet(211,212), an exit(213,214), a chamber b...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: KIM, EUNG SU, LEE, SANG HO, LIM, KYUNG CHUN, SON, JIN SEOK, SHIN, JUNG KUN
Format: Patent
Sprache:eng
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