VOLTAGE VARIABLE CAPACITOR

A voltage variable capacitor (10) has as the base substrate a silicon wafer with a layer of high resistivity semiconductor material on top of the substrate. An insulating layer (16) of a metal oxide having a dielectric constant greater than the dielectric constant of the semiconductors (12), such as...

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: CORNETT, KENNETH D, SHAPIRO, GARY H, RAMAKRISHNAN, E.S, CALDWELL, RAYMOND M, HOWNG, WEI-YEAN
Format: Patent
Sprache:eng
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