WAFER LOADING SYSTEM HAVING DISPLAY COUNTER

WAFER LOADING SYSTEM HAVING DISPLAY COUNTER

본 고안은 반도체 제조 장비중 이온 주입 시스템에서 웨이퍼를 디스크에 로우딩할 때 그 갯수를 세어 모니터상에 표시하는 장치인 디스플레이카운터가 구비된 웨이퍼 로우딩 시스템에 관한 것으로서, 고정암, 상기 고정암에 연결된 회전암, 상기 회전암에 연결되어 왕복이동하는 이동암 및 상기 이동암에 부착되어 웨이퍼가 안치되는 테이블로 구성된 웨이퍼 로우딩장치에 있어서, 상기 회전암 내부에 상기 이동암과 연동되는 링크, 상기 링크에 연결되어 회전하는 접촉 레버, 상기 접촉 레버에 의해 동작되는 마이크로 스위치 및 상기 마이크로 스위치에 연결되어...

Ausführliche Beschreibung

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Hauptverfasser: KIM, JUNG-HWAN, PARK, INNUN, CHO, DAE-BOK
Format: Patent
Sprache:eng ; kor
Schlagworte:
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
ELECTRICITY
SEMICONDUCTOR DEVICES
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creator KIM, JUNG-HWAN
PARK, INNUN
CHO, DAE-BOK
description 본 고안은 반도체 제조 장비중 이온 주입 시스템에서 웨이퍼를 디스크에 로우딩할 때 그 갯수를 세어 모니터상에 표시하는 장치인 디스플레이카운터가 구비된 웨이퍼 로우딩 시스템에 관한 것으로서, 고정암, 상기 고정암에 연결된 회전암, 상기 회전암에 연결되어 왕복이동하는 이동암 및 상기 이동암에 부착되어 웨이퍼가 안치되는 테이블로 구성된 웨이퍼 로우딩장치에 있어서, 상기 회전암 내부에 상기 이동암과 연동되는 링크, 상기 링크에 연결되어 회전하는 접촉 레버, 상기 접촉 레버에 의해 동작되는 마이크로 스위치 및 상기 마이크로 스위치에 연결되어 상기 접촉 레버에 의해 상기 마이크로 스위치의 접점이 닫힐 때 발생되는 신호를 십진계수출력으로 표시하는 카운터 표시장치 회로가 부가된다.
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