SEMICONDUCTOR DEVICE

PURPOSE:To suppress a shortcircuit between wiring layers of multilayer wiring structure by forming slits on the first wiring layer of the portion in which the first and second wiring layers cross with each other. CONSTITUTION:The first wiring layer 3 having slits 2 is formed on a semiconductor subst...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: KATOU TAKAO
Format: Patent
Sprache:eng
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