JPH0510665B
PURPOSE:To intersept leakage of a laser beam out of a device even if trouble happens in the on-off circuit of the laser beam by intersepting the path of the laser beam when a process kit is taken out of the device. CONSTITUTION:A shutter plate 11 for opening or closing a scanning opening 2a is slida...
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Format: | Patent |
Sprache: | eng |
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