TRANSPORT MODULE AND TRANSPORT METHOD

To reduce an installation area of a substrate processing system.SOLUTION: A transport module includes a housing, a load port, a transport device, and a storage unit. The load port is provided on a side wall of the housing and a container which contains a plurality of objects to be transported (transported objects) may be placed thereon. The transport device is disposed within the housing and transports the transported objects. The storage unit is disposed within the housing and temporarily contains the transported objects. The housing has: a first side wall with which a load lock module is connected; and a second side wall which is other than a side wall facing the first side wall and provided with the load port. The transport device has a first arm having a plurality of forks on which the transported objects may be placed. Further, the transport device collectively transports the transported objects in the container placed on the load port into the storage unit by the first arm.SELECTED DRAWING: Figure 2 【課題】基板処理システムの設置面積を削減する。【解決手段】搬送モジュールは、筐体と、ロードポートと、搬送装置と、ストレージユニットとを備える。ロードポートは、筐体の側壁に設けられ、複数の被搬送物が収容される容器を載置可能である。搬送装置は、筐体内に配置され、被搬送物を搬送する。ストレージユニットは、筐体内に配置され、複数の被搬送物を一時的に収容する。筐体は、ロードロックモジュールが接続される第１の側壁と、第１の側壁に対向する側壁以外の第２の側壁であって、ロードポートが設けられる第２の側壁とを有する。搬送装置は、複数の被搬送物を載置可能な複数のフォークを有する第１のアームを有する。また、搬送装置は、ロードポートに載置された容器内の複数の被搬送物を第１のアームによってストレージユニット内に一括搬送する。【選択図】図２