TORQUE SENSOR
To provide an individual force sensor and a force sensor whose price and height can be reduced.SOLUTION: An individual force sensor includes a first individual sensor body and a second individual sensor body, a first strain body connecting the first individual sensor body and the second individual s...
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; jpn |
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Zusammenfassung: | To provide an individual force sensor and a force sensor whose price and height can be reduced.SOLUTION: An individual force sensor includes a first individual sensor body and a second individual sensor body, a first strain body connecting the first individual sensor body and the second individual sensor body, and a detection element that detects displacement generated by elastic deformation of the first strain body. The first strain body includes a first connection body extending in a first direction from a first end part connected to the first individual sensor body to a second end part connected to the second individual sensor body, and a displacement body protruding from the first connection body in a second direction orthogonal to the first direction. The detection element includes a fixed electrode substrate provided on the second individual sensor body, and a displacement electrode substrate provided in the displacement body and facing the fixed electrode substrate.SELECTED DRAWING: Figure 2
【課題】低価格化を図ることができるとともに高さを低くすることができる個別力覚センサおよび力覚センサを提供する。【解決手段】個別力覚センサは、第1個別センサ体と、第2個別センサ体と、第1個別センサ体と第2個別センサ体とを接続する第1起歪体と、第1起歪体の弾性変形により生じた変位を検出する検出素子と、を備えている。第1起歪体は、第1個別センサ体に接続された第1端部から第2個別センサ体に接続された第2端部にわたって第1方向に延びる第1接続体と、第1接続体から第1方向に直交する第2方向に突出する変位体と、を含んでいる。検出素子は、第2個別センサ体に設けられた固定電極基板と、変位体に設けられた、固定電極基板に対向する変位電極基板と、を含んでいる。【選択図】図2 |
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