TREATMENT LIQUID SUPPLY SYSTEM AND OPERATIONAL METHOD OF THE SAME

To achieve high cleanliness and discharge accuracy with the smaller number of components even when using a chemical solution with high viscosity.SOLUTION: A treatment liquid supply system according to an embodiment of the present disclosure, comprises: a tank that accumulates treatment liquid supplied from a treatment liquid supply part; a circulation passage connected to the tank; a plurality of supply passages that is connected to the circulation passage, and supplies each treatment liquid to a plurality of liquid treatment parts that performs a liquid treatment on a substrate; a set of first pump filters that is a combination of the first pump and a plurality of first filters provided on downstream side thereof; and a set of second pump filters that is a combination of the second pump and a plurality of second filters provided on downstream side thereof. The set of first pump filters and the set of second pump filters are arranged in series on the circulation passage so that the set of first pump filters is positioned on an upstream side of the set of second pump filters.SELECTED DRAWING: Figure 1 【課題】粘度の高い薬液を使用するときにおいても少ない部品点数で高い清浄度および吐出精度を達成する。【解決手段】本開示の一実施形態に係る処理液供給システムは、処理液供給部から供給される処理液を貯留するタンクと、前記タンクに接続された循環通路と、前記循環通路に接続され、基板に液処理を行う複数の液処理部にそれぞれ処理液を供給する複数の供給通路と、第１ポンプおよびその下流側に設けられた複数の第１フィルタとの組み合わせである第１ポンプフィルタ組と、第２ポンプおよびその下流側に設けられた複数の第２フィルタとの組み合わせである第２ポンプフィルタ組と、を備え、前記第１ポンプフィルタ組および前記第２ポンプフィルタ組は、前記第１ポンプフィルタ組が前記第２ポンプフィルタ組よりも上流側に位置するように、前記循環通路に直列に配置されている。【選択図】図１