TRIMETHYLALUMINUM-CONTAINING COMPOSITION AND PRODUCTION METHOD OF THE SAME
To provide a trimethylaluminum (TMAL)-containing composition in which dimethylaluminum chloride (DMAC) and dimethylaluminum hydride (DMAH) are reduced to such a degree that the function of TMAL is not inhibited.SOLUTION: A TMAL-containing composition has a DMAH content of 0.1 ppm to 500 ppm in terms...
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; jpn |
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