TRIMETHYLALUMINUM-CONTAINING COMPOSITION AND PRODUCTION METHOD OF THE SAME

To provide a trimethylaluminum (TMAL)-containing composition in which dimethylaluminum chloride (DMAC) and dimethylaluminum hydride (DMAH) are reduced to such a degree that the function of TMAL is not inhibited.SOLUTION: A TMAL-containing composition has a DMAH content of 0.1 ppm to 500 ppm in terms...

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Hauptverfasser: SUMITA WATARU, YAMANE TAKEO
Format: Patent
Sprache:eng ; jpn
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