PIEZOELECTRIC DEVICE
To provide a compact and sensitive piezoelectric device using a longitudinal effect in a piezoelectric effect.SOLUTION: In the piezoelectric device that achieves miniaturization, a longitudinal effect (d33 mode) is used to displace a piezoelectric film by an input signal and convert from the displac...
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| Format: | Patent |
| Sprache: | eng ; jpn |
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| Zusammenfassung: | To provide a compact and sensitive piezoelectric device using a longitudinal effect in a piezoelectric effect.SOLUTION: In the piezoelectric device that achieves miniaturization, a longitudinal effect (d33 mode) is used to displace a piezoelectric film by an input signal and convert from the displacement into an output signal. To do the same, electrodes 5a, 5b extending in the thickness direction of a flat piezoelectric film 3 are arranged and a voltage is applied between the electrodes to polarize the piezoelectric film 3 to displace it in the direction of polarization.SELECTED DRAWING: Figure 1
【課題】圧電効果における縦効果を利用して小型で高感度の圧電体デバイスを提供する。【解決手段】小型化を実現した圧電体デバイスにおいて、縦効果（ｄ３３モード）を利用して入力信号により圧電体膜を変位させ、その変位から出力信号に変換する。そのため、平板状の圧電体膜３の厚さ方向に延出する電極５ａ、５ｂを配置し、電極間に電圧を印加して圧電体膜３を分極させ、その分極方向に変位させる構成としている。【選択図】図１ |
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