POLARIZER WIRE HAVING SILICON DIOXIDE RIB ON SIDE FACE OF SILICON CORE

SOLUTION: A wire grid polarizer 10 can include an array of wires 15 on a substrate 11. The wires 15 can each have a silicon core 12 and a pair of silicon dioxide ribs 13. The core 12 can be sandwiched between the pair of ribs 13, which each adjoin a side wall 12s of the core 12. A rib width W13 can be 4 nm or larger. Each wire 15 can include a silicon dioxide cap 14. The core 12 can be surrounded with a silicon dioxide ring 17.EFFECT: A wire grid polarizer 10 and a wire grid polarizer manufactured by the described method are characterized in: (a) having high performance over a wide range of ultraviolet spectra; (b) having high performance over wide angles of incidence; and (c) possibly being resistive (to heat, moisture, ultraviolet rays, and oxidation).SELECTED DRAWING: Figure 1 【解決手段】ワイヤグリッド偏光子１０は、基板１１上にワイヤ１５のアレイを含むことができる。各ワイヤ１５は、シリコンコア１２と、一対の二酸化ケイ素リブ１３とを有することができる。コア１２は一対のリブ１３の間に挟むことができ、各リブ１３はコア１２の側壁１２ｓに隣接している。リブ幅Ｗ１３は、４ｎｍ以上とすることができる。各ワイヤ１５はまた、二酸化ケイ素キャップ１４を含むことができる。コア１２は、二酸化ケイ素リング１７によって囲むことができる。【効果】ワイヤグリッド偏光子１０、ならびに記載される方法によって製造されるワイヤグリッド偏光子は、（ａ）広範囲の紫外線スペクトルにわたって高い性能を有し、（ｂ）広い入射角にわたって高い性能を有し、（ｃ）耐久性（熱、湿気、紫外線、および酸化に耐性がある）があり得る。【選択図】図１