SUBSTRATE PROCESSING DEVICE AND SUBSTRATE PROCESSING METHOD

To provide a technique capable of transporting a substrate to a predetermined position of a module with high accuracy.SOLUTION: A substrate processing device includes: a substrate holding unit 25 that holds a substrate and is laterally movable to transport the substrate from one module to the other; a first detection unit 3 that detects a position of the substrate on the substrate holding unit 25 after the substrate holding unit 25 receives the substrate from the one module and before transporting the substrate to the other module; second detection units 55 and 56 that detect the positional deviation between the substrate holding unit 25 that has been moved so as to be located at a temporary position set for delivering the substrate to the other module and the temporary position; and a position determining unit 10 that determines a delivery position for delivering the substrate to the other module on the basis of the position of the substrate in the substrate holding unit 25 and the positional deviation.SELECTED DRAWING: Figure 2 【課題】モジュールの所定の位置に精度高く基板を搬送することができる技術を提供すること。【解決手段】基板を保持し、一のモジュールから他のモジュールへ当該基板を搬送するために横方向に移動自在な基板保持部２５と、前記基板保持部２５が前記一のモジュールから前記基板を受け取った後、前記他のモジュールへ搬送する前に当該基板保持部２５における当該基板の位置を検出するための第１の検出部３と、他のモジュールに前記基板を受け渡すために設定された暫定位置に位置するように移動した前記基板保持部２５と、当該暫定位置との位置ずれを検出するための第２の検出部５５、５６と、前記基板保持部２５における基板の位置及び前記位置ずれに基づいて、前記他のモジュールに前記基板を受け渡すための受け渡し位置を決定するための位置決定部１０と、を備えるように装置を構成する。【選択図】図２